特許
J-GLOBAL ID：201003018003570560
膜厚測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
名古屋国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-191259
公開番号（公開出願番号）：特開2010-025904
出願日： 2008年07月24日
公開日（公表日）： 2010年02月04日
要約：
【課題】基材の材質や凹凸によらず、数μm程度の膜厚を測定することができる膜厚測定方法を提供すること。【解決手段】基材上に形成された薄膜の膜厚を測定する膜厚測定方法であって、前記基材の表面のうち、第1の色の領域に形成された前記薄膜における輝度と、前記基材の表面のうち、前記第1の色とは異なる第2の色の領域に形成された前記薄膜の輝度との輝度差を算出し、前記算出した輝度差を、前記輝度差と前記薄膜の膜厚との関係を表す検量線にあてはめ、前記薄膜の膜厚を算出する膜厚測定方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材上に形成された薄膜の膜厚を測定する膜厚測定方法であって、
前記基材の表面のうち、第1の色の領域に形成された前記薄膜における輝度と、前記基材の表面のうち、前記第1の色とは異なる第2の色の領域に形成された前記薄膜の輝度との輝度差を算出し、
前記算出した輝度差に基づいて前記薄膜の膜厚を算出する膜厚測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
2F065AA30
, 2F065CC31
, 2F065FF44
, 2F065JJ03
, 2F065PP21
, 2F065QQ17
, 2F065QQ25
出願人引用 (18件)
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審査官引用 (8件)
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