特許
J-GLOBAL ID：201003019232623550
モデルベースのリソグラフィ誘導レイアウト設計を実行するための方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-511279
公開番号（公開出願番号）：特表2010-531463
出願日： 2008年06月03日
公開日（公表日）： 2010年09月24日
要約：
効率的なモデルベースのサブレゾリューションアシストフィーチャ(MB-SRAF)を作成するための方法を提供する。SRAFガイダンスマップが作成され、各設計ターゲットエッジ位置は、所与のフィールドポイントについて、このフィールドポイント上に配置された単一ピクセルSRAFがプロセスウィンドウに関する空間像を改善するか又は劣化させるかを投票する。一実施形態では、SRAFガイダンスマップを使用して、SRAF配置ルールを決定するか及び/又はすでに配置されたSRAFを微調整する。SRAFガイダンスマップは、マスクレイアウト内にSRAFを配置するために直接使用することができる。SRAFを含むマスクレイアウトデータを生成することができ、SRAFはSRAFガイダンスマップにより配置される。SRAFガイダンスマップは、ピクセルがサブレゾリューションアシストフィーチャの一部として含まれる場合にそのピクセルがマスクレイアウト内のフィーチャのエッジ挙動に積極的に寄与するかどうかを各ピクセル値が示す像を含むことができる。
請求項（抜粋）：
マスクレイアウト内にサブレゾリューションアシストフィーチャ(「SRAF」)を配置するための方法であって、
前記マスクレイアウトに関するSRAFガイダンスマップを生成することであって、該SRAFガイダンスマップは、ピクセルがサブレゾリューションアシストフィーチャの一部として含まれる場合に該ピクセルが前記マスクレイアウト内のフィーチャのエッジ挙動に積極的に寄与するかどうかを各ピクセル値が示す像であることと、
前記SRAFガイダンスマップに従って前記マスクレイアウト内にサブレゾリューションアシストフィーチャを配置すること
を含む方法。
IPC (3件)：
G03F 1/08
, H01L 21/027
, G06F 17/50
G03F1/08 A
, H01L21/30 502P
, G06F17/50 658M
2H095BA01
, 2H095BB01
, 2H095BB02
, 5B046AA08
, 5B046BA06
