特許
J-GLOBAL ID:201003020389985063

固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 角田 芳末 ,  伊藤 仁恭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-028822
公開番号(公開出願番号):特開2010-186818
出願日: 2009年02月10日
公開日(公表日): 2010年08月26日
要約:
【課題】固体撮像装置において、光学混色の低減及び/又はMgフレアの低減により、画質の向上を図る。【解決手段】本発明は、光電変換部PDと画素トランジスタTrからなる複数の画素24が配列された画素領域23と、オンチップカラーフィルタ42と、オンチップマイクロレンズ43を有する。さらに、層間絶縁膜31を介して複数層の配線32が形成された多層配線層33と、光電変換部PDが配列された受光面34の画素境界に絶縁層36を介して形成された遮光膜39を有する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
光電変換部と画素トランジスタからなる複数の画素が配列された画素領域と、 オンチップカラーフィルタと、 オンチップマイクロレンズと、 層間絶縁膜を介して複数層の配線が形成された多層配線層と、 前記光電変換部が配列された受光面の画素境界に絶縁層を介して形成された遮光膜と を有する固体撮像装置。
IPC (3件):
H01L 27/14 ,  H04N 5/335 ,  H01L 27/146
FI (4件):
H01L27/14 D ,  H04N5/335 E ,  H04N5/335 U ,  H01L27/14 A
Fターム (27件):
4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA04 ,  4M118CA18 ,  4M118CA32 ,  4M118CA34 ,  4M118DD04 ,  4M118DD12 ,  4M118FA26 ,  4M118FA33 ,  4M118GA02 ,  4M118GB04 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  4M118GC07 ,  4M118GC11 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AX01 ,  5C024BX01 ,  5C024CX01 ,  5C024CX11 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024EX52 ,  5C024GX03 ,  5C024GY31
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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