特許
J-GLOBAL ID:201003020974070399
誘電体導波路及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
ポレール特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-259970
公開番号(公開出願番号):特開2010-093444
出願日: 2008年10月06日
公開日(公表日): 2010年04月22日
要約:
【課題】複雑な形状の誘電体導波路およびその作成方法を提供する。【解決手段】誘電体間の屈折率差を利用して電磁波を伝送する誘電体導波路であり、電磁波が導入されるコアとコアの周囲に配置されたクラッドが同一の金属酸化物の結晶相あるいはアモルファス相のいずれかで形成され、コアとクラッドの金属酸化物相が異なることを特徴とする。アモルファス金属酸化物からなる薄膜基板を部分的に加熱して結晶化させることにより、必要な屈折率差を基板中に形成して誘電体導波路を形成することを特徴とする。【選択図】図5
請求項(抜粋):
誘電体間の屈折率差を利用して電磁波を伝送する誘電体導波路であって、
電磁波が導入されるコア部と前記コア部の周囲に配置されたクラッド部とを備え、
前記コア部および前記クラッド部が結晶相あるいはアモルファス相のいずれかの相を有する金属酸化物で構成され、前記コア部と前記クラッド部を構成する金属酸化物の相が互いに異なることを特徴とする誘電体導波路。
IPC (3件):
H01P 3/16
, H01P 11/00
, H01Q 13/24
FI (3件):
H01P3/16
, H01P11/00 P
, H01Q13/24
Fターム (6件):
5J014HA06
, 5J045AB06
, 5J045DA18
, 5J045EA10
, 5J045HA08
, 5J045LA03
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (7件)
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