特許
J-GLOBAL ID：201003031839536509

ガスセンサ

発明者：
高田 秀次

高田 秀次 について

, 
松濱 誠

松濱 誠 について

, 
井戸 琢也

井戸 琢也 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場製作所

株式会社堀場製作所 について


代理人 (3件)： 西村 竜平 ,  佐藤 明子 ,  齊藤 真大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-080520
公開番号（公開出願番号）：特開2010-230592
出願日： 2009年03月27日
公開日（公表日）： 2010年10月14日
要約：
【課題】耐腐蝕性を向上させて長寿命化するとともに、センサ基板のパッド部とリードピンとの電気的接続性を向上させる。【解決手段】測定空間S1内に設けられ、試料ガスを検出するための回路要素33が形成され、回路要素33の配線接続部となる金又は白金製のパッド部34を有する耐腐蝕性のセンサ基板3と、一端部5aが測定空間S1内に設けられてパッド部34に電気的に接続され、他端部5bが測定空間外に設けられるニッケル合金製のリードピン5と、パッド部34とリードピン5の一端部5aとを電気的に接続する金又は白金製の接続体6と、を具備し、リードピン5の一端部5aに、クロム、タングステン又はチタンからなる第1層7、及び第1層7上に金又は白金からなる第2層8が形成されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
測定空間内に設けられ、試料ガスを検出するための回路要素が形成され、当該回路要素の配線接続部となる金又は白金製のパッド部を有するセンサ基板と、 一端部が測定空間内に設けられて前記パッド部に電気的に接続され、他端部が測定空間外に設けられるニッケル合金製のリードピンと、 前記パッド部と前記リードピンの一端部とを電気的に接続する金又は白金製の接続体と、を具備し、 前記リードピンの一端部に、クロム、タングステン又はチタンからなる第1層、及び当該第1層上に金又は白金からなる第2層が形成されているガスセンサ。
IPC (1件)：
G01N 25/18
FI (1件)：
G01N25/18 K
Fターム (11件)：
2G040AA03 ,  2G040AB09 ,  2G040BA23 ,  2G040CA02 ,  2G040CA13 ,  2G040CA22 ,  2G040CB02 ,  2G040DA02 ,  2G040DA12 ,  2G040EA02 ,  2G040EB02
引用特許：
審査官引用 (15件)
  • ガスセンサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-116213   出願人：フィガロ技研株式会社
  • 特開平1-073647
  • 熱電気測定装置の試料組立体
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-259868   出願人：理学電機株式会社, 三菱電機株式会社
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