特許
J-GLOBAL ID：201003035354645682

形状測定装置

発明者：
浜島 宗樹

浜島 宗樹 について

, 
井上 篤

井上 篤 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 稲本 義雄 ,  西川 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-233495
公開番号（公開出願番号）：特開2010-066156
出願日： 2008年09月11日
公開日（公表日）： 2010年03月25日
要約：
【課題】対物レンズの光軸に沿って、被検物を移動することなく、被検物の形状を測定できるようにする。【解決手段】MLA12は、対物レンズ11の瞳面又は結像面に配置され、撮像素子13は、MLA12の背後に設置され、被検物像を撮像する。ズーム用レンズ駆動装置51は、ズーム用レンズZLの移動によって被検物の像の大きさを拡大又は縮小し、合焦レンズ駆動装置52は、合焦レンズFoLの移動によって被検物に焦点を合わせる。演算処理回路34は、撮像素子13の出力から複数の測定画像を生成し、MLA12に配列された複数のMLの各々に対応する撮像素子13の撮像領域を構成する画素のうち、対物レンズ11の主光線と交わる位置にある画素から得られる基準画像を補正情報として用いて、被検物の形状を測定する。本発明は、被検物の3次元の形状を計測する形状測定装置に適用できる。【選択図】図14
請求項（抜粋）：
対物レンズと、 前記対物レンズの背後に2次元に配列された複数のレンズを有する光学素子と、 前記光学素子の背後に配置された2次元の撮像素子と、 前記対物レンズの焦点距離を変化させる焦点距離可変手段と、 前記撮像素子の出力から複数の測定画像を生成する画像形成手段と、 前記複数のレンズの各々に対応する前記撮像素子の撮像領域を構成する画素のうち、前記対物レンズの主光線と交わる位置にある画素から得られる基準画像を、前記測定画像の補正情報として用いて、被検物の形状を測定する形状測定手段と を備えることを特徴とする形状測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/24 ,  G01C 3/06
FI (3件)：
G01B11/24 K ,  G01C3/06 120P ,  G01C3/06 140
Fターム (33件)：
2F065AA04 ,  2F065AA12 ,  2F065AA53 ,  2F065DD06 ,  2F065FF10 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL06 ,  2F065LL10 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ42 ,  2F112AB10 ,  2F112CA08 ,  2F112DA04 ,  2F112DA05 ,  2F112DA28 ,  2F112FA03 ,  2F112FA07 ,  2F112FA21 ,  2F112FA27 ,  2F112FA32 ,  2F112FA38 ,  2F112FA45 ,  2F112GA01
引用特許：
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (13件)
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