パルスディテクタ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 大房直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-104347
公開番号（公開出願番号）：特開2010-258605
出願日： 2009年04月22日
公開日（公表日）： 2010年11月11日
要約：

【課題】プラズマを発生させるようなQ値の高い負荷が接続され、パルス幅変調において高周波信号が出力される場合、信号レベルの減衰が遅くとも、サンプルホールド信号を発生させ、高周波信号の信号レベルをホールドするパルスディテクタを提供する。【解決手段】本発明は、高周波信号の電圧の包絡波形の電圧レベル信号を出力する電圧レベル検出部と、電流の包絡波形の電流レベル信号を出力する電流レベル検出部と、電圧と電流の位相差を求める位相差検出部と、包絡波形が一端途切れ、その後出力される包絡波形の立上りを、包絡波形の信号レベルと設定された閾値とを比較して検出し、立上り信号を出力する入力検出部と、立上り信号の入力後にサンプルホールド信号を出力する制御部と、電圧レベル信号、電流レベル信号及び位相差信号の信号レベルをホールドするサンプルホールド回路を有し、閾値は、直前の包絡波形の信号レベルの設定された割合の数値である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

高周波信号の電圧波形の波形包絡を検出し、包絡波形として電圧レベル信号を出力する電圧レベル検出部と、前記高周波信号の電流波形の波形包絡を検出し、包絡波形として電流レベル信号を出力する電流レベル検出部と、前記高周波信号の電圧波形と電流波形との位相差を求めて、位相差信号を出力する位相差検出部と、前記包絡波形が一端途切れ、その後出力される包絡波形の立ち上がりを、その包絡波形の信号レベルと、設定された閾値とを比較し検出し、立ち上がり検出信号を出力する入力検出部と、前記立ち上がり検出信号が入力されてから、予め設定された時間後に、サンプルホールド信号を出力する制御部と、前記サンプルホールドにより、前記電圧レベル信号、前記電流レベル信号及び位相差信号の信号レベルをサンプリングしてホールドするサンプルホールド回路とを有し、前記入力検出部が、直前に入力された包絡波形の信号レベルの予め設定された割合の数値を前記閾値として用いることを特徴とするパルスディテクタ。

IPC (5件)：

H03K 7/02 , G01R 19/00 , G01R 19/04 , H03K 5/19 , G01R 25/00

FI (5件)：

H03K7/02 , G01R19/00 A , G01R19/04 B , H03K5/19 H , G01R25/00

Fターム (17件)：

2G030AA01 , 2G030AB05 , 2G030AD06 , 2G030AD10 , 2G035AB04 , 2G035AC05 , 2G035AC08 , 2G035AD11 , 2G035AD17 , 2G035AD19 , 2G035AD23 , 2G035AD48 , 2G035AD54 , 5J039HH02 , 5J039KK19 , 5J039KK35 , 5J039MM07

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平2-021720
特開昭51-096362
高周波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-363580 出願人：株式会社アルバック, 株式会社アドテックプラズマテクノロジー

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