特許
J-GLOBAL ID：201003046017145785

マグネトロン発振装置およびプラズマ処理装置

発明者：
篠原 己拔

篠原 己拔 について

, 
米通 哲

米通 哲 について


出願人/特許権者：
日本高周波株式会社

日本高周波株式会社 について


代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-136496
公開番号（公開出願番号）：特開2010-283678
出願日： 2009年06月05日
公開日（公表日）： 2010年12月16日
要約：
【課題】発信周波数をより安定させることができるマグネトロン発振装置およびプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】周波数検出部7は、マグネトロン2から出力されたマイクロ波の周波数と、ユーザが所定の所望する発信周波数からの「ずれ」を検出してずれ信号を生成する。駆動電圧生成部8は、そのずれ信号に基づいてマイクロ波の発振周波数が所望する周波数となるようインピーダンス発生器5の駆動電圧を生成して出力する。これにより、マグネトロン2の発振を制御することができるので、広範囲な出力電力において発振周波数の安定化を実現することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
マグネトロンと、 このマグネトロンの出力電力を取り出すランチャーと、 このランチャーに入力端が接続されて、前記マグネトロンの負荷サセプタンスを調整するインピーダンス発生器と、 このインピーダンス発生器に入力端が接続されて、通過電力の一部を取り出す周波数結合器と、 入力端が周波数結合器の第1の出力端に接続され、前記マグネトロンの発振周波数と所定の周波数とのずれに応じたずれ信号を出力する周波数検出部と、 この周波数検出部に入力端が接続され、前記インピーダンス発生器に出力端が接続されて、前記ずれ信号に基づいて、前記マグネトロンの発振周波数を前記所定の周波数にするための駆動電圧を生成して前記インピーダンス発生器に出力する駆動電圧生成部と を備えたことを特徴とするマグネトロン発振装置。
IPC (3件)：
H03B 9/10 ,  H05H 1/46 ,  H01J 23/34
FI (4件)：
H03B9/10 ,  H05H1/46 R ,  H05H1/46 B ,  H01J23/34 B
Fターム (1件)：
5C029NN04
引用特許：
審査官引用 (20件)
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