特許
J-GLOBAL ID：201003053038785977

可動部を有するマイクロデバイス

発明者：
明石 照久

明石 照久 について

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船橋 博文

船橋 博文 について

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藤吉 基弘

藤吉 基弘 について

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野々村 裕

野々村 裕 について


出願人/特許権者：
株式会社豊田中央研究所

株式会社豊田中央研究所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-046414
公開番号（公開出願番号）：特開2010-205766
出願日： 2009年02月27日
公開日（公表日）： 2010年09月16日
要約：
【課題】 可動部と支持基板の固着が長期に亘って防止されるマイクロデバイスを提供する。【解決手段】 マイクロデバイスは、支持基板と、支持基板に隙間を介して対向しているとともに、支持基板に対して相対変位可能に支持された可動部を備えている。支持基板と可動部の互いに対向する表面の少なくとも一方には、少なくとも一つの突起が設けられている。そして、各々の突起には、その突起が設けられた支持基板又は可動部の内部へ伸びる基礎部が、一体に設けられている。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板と、 基板に隙間を介して対向しているとともに、基板に対して相対変位可能に支持されている可動部を備え、 基板と可動部の互いに対向する表面の少なくとも一方には、少なくとも一つの突起が設けられており、 各々の突起には、その突起が設けられた基板又は可動部の内部へ伸びる基礎部が、一体に設けられていることを特徴とするマイクロデバイス。
IPC (6件)：
H01L 29/84 ,  G01P 15/125 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G01P 9/04 ,  G01C 19/56
FI (6件)：
H01L29/84 Z ,  G01P15/125 Z ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01P9/04 ,  G01C19/56
Fターム (40件)：
2F105BB11 ,  2F105BB13 ,  2F105BB14 ,  2F105CC04 ,  2F105CC11 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  3C081AA02 ,  3C081BA07 ,  3C081BA29 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA48 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA29 ,  3C081DA04 ,  3C081DA23 ,  3C081DA27 ,  3C081EA02 ,  3C081EA08 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA06 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA11 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20
引用特許：
審査官引用 (10件)
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