特許
J-GLOBAL ID：201003057288199572

光学顕微鏡、及びスペクトル測定方法

発明者：
小林 実

小林 実 について

, 
太田 泰輔

太田 泰輔 について

, 
大出 孝博

大出 孝博 について


出願人/特許権者：
ナノフォトン株式会社

ナノフォトン株式会社 について


代理人 (2件)： 家入 健 ,  岩瀬 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-301820
公開番号（公開出願番号）：特開2010-127726
出願日： 2008年11月27日
公開日（公表日）： 2010年06月10日
要約：
【課題】短時間にスペクトル測定を行うことができる光学顕微鏡、及びスペクトル測定方法を提供すること。【解決手段】本発明の第1の態様にかかる光学顕微鏡は、対物レンズ23を介してレーザ光を試料24に照射するステップと、対物レンズ23を介して、試料で反射した反射光を検出するステップと、レーザ光の焦点位置を光軸方向に変化させるステップと、レーザ光の焦点位置を変化させたときの反射光の検出結果に基づいて、スペクトル測定を行う焦点位置を抽出するステップと、抽出された焦点位置になるように調整するステップと、焦点位置を調整した状態で、レーザ光の照射により試料から出射される出射光をレーザ光から分岐するステップと、レーザ光から分岐された出射光のスペクトルを分光器31で測定するステップと、を備えるものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
対物レンズを介してレーザ光を試料に照射するステップと、 前記試料で反射した反射光を、前記対物レンズを介して検出するステップと、 前記レーザ光の焦点位置を光軸方向に変化させるステップと、 前記レーザ光の焦点位置を変化させたときの前記反射光の検出結果に基づいて、スペクトル測定を行う焦点位置を抽出するステップと、 前記抽出された焦点位置になるように調整するステップと、 前記焦点位置を調整した状態で、前記レーザ光の照射により前記試料から出射される出射光を前記レーザ光から分岐するステップと、 前記レーザ光から分岐された出射光のスペクトルを分光器で測定するステップと、を備えるスペクトル測定方法。
IPC (3件)：
G01N 21/65 ,  G01N 21/47 ,  G01B 11/24
FI (3件)：
G01N21/65 ,  G01N21/47 Z ,  G01B11/24 K
Fターム (65件)：
2F065AA53 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065GG04 ,  2F065GG22 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ22 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL08 ,  2F065LL10 ,  2F065LL13 ,  2F065LL19 ,  2F065LL20 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL67 ,  2F065MM03 ,  2F065MM16 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ23 ,  2G043AA01 ,  2G043AA03 ,  2G043AA06 ,  2G043BA14 ,  2G043BA16 ,  2G043CA05 ,  2G043DA05 ,  2G043EA03 ,  2G043EA14 ,  2G043FA01 ,  2G043GA07 ,  2G043GB01 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA03 ,  2G043HA09 ,  2G043JA03 ,  2G043JA04 ,  2G043KA02 ,  2G043KA09 ,  2G043LA03 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059FF02 ,  2G059GG01 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ07 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059LL01 ,  2G059MM10
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (7件)
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