特許
J-GLOBAL ID：201003059876631068

プラズマ発生用電源装置

発明者：
村松 護

村松 護 について

, 
椛田 学

椛田 学 について


出願人/特許権者：
島田理化工業株式会社

島田理化工業株式会社 について


代理人 (1件)： 上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-286860
公開番号（公開出願番号）：特開2010-114001
出願日： 2008年11月07日
公開日（公表日）： 2010年05月20日
要約：
【課題】構成が簡潔で安価なプラズマ発生用電源装置を提供する。【解決手段】商用交流電力などの交流電力を整流器で直流電力に変換し、直流電力をインバータで高周波交流電力に逆変換し、高周波交流電力をマッチング部とプラズマ発生装置からなる負荷回路に供給するようにしたプラズマ発生用電源装置において、インバータを駆動するスイッチング周波数を可変することにより、電源電力の調整を行い、プラズマ発生装置へ供給する高周波電流を一定にしたり、高周波電圧を一定にしたり、あるいは、高周波電力を一定にする。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
交流電力を整流器で直流電力に変換し、該直流電力をインバータで高周波交流電力に逆変換し、該高周波交流電力をマッチング部とプラズマ発生装置からなる負荷回路に供給するプラズマ発生用電源装置であって、 前記インバータを駆動するスイッチング周波数を可変することにより、前記プラズマ発生装置へ供給する高周波電流を一定にする ことを特徴とするプラズマ発生用電源装置。
IPC (5件)：
H05H 1/46 ,  H02M 7/48 ,  H01L 21/306 ,  C23C 14/34 ,  C23C 16/52
FI (6件)：
H05H1/46 R ,  H02M7/48 E ,  H02M7/48 A ,  H01L21/302 101G ,  C23C14/34 U ,  C23C16/52
Fターム (14件)：
4K029DC35 ,  4K030KA30 ,  5F004AA16 ,  5F004BC08 ,  5H007CB09 ,  5H007CC01 ,  5H007DA04 ,  5H007DA05 ,  5H007DA06 ,  5H007DB01 ,  5H007DC02 ,  5H007DC03 ,  5H007DC04 ,  5H007DC05
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (6件)
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