特許
J-GLOBAL ID：201003064243542035
フォトレジスト用樹脂溶液の製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小島 清路
, 萩野 義昇
, 谷口 直也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-048539
公開番号（公開出願番号）：特開2010-204306
出願日： 2009年03月02日
公開日（公表日）： 2010年09月16日
要約：
【課題】フォトレジスト用樹脂に対する熱履歴を少なくすることができ、且つフォトレジスト用樹脂溶液を効率良く簡便に製造できるフォトレジスト用樹脂溶液の製造方法を提供する。【解決手段】本フォトレジスト用樹脂溶液の製造方法は、(1)重合性化合物を重合させることにより、フォトレジスト用の樹脂を含有する樹脂溶液を調製する樹脂溶液調製工程と、(2)樹脂溶液に含まれる樹脂を再沈殿により回収する回収工程と、(3)回収した樹脂を濾過し、洗浄溶剤を用いて洗浄することにより湿粉を得る洗浄工程と、(4)湿粉をフォトレジスト用溶剤に溶解する溶解工程と、を備えており、前記溶解工程において、湿粉及びフォトレジスト用溶剤のうちの少なくとも一方を冷却し、その後、湿粉及びフォトレジスト用溶剤の混合物を昇温する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
フォトレジスト用樹脂溶液の製造方法であって、
(1)重合性化合物を重合させることにより、フォトレジスト用の樹脂を含有する樹脂溶液を調製する樹脂溶液調製工程と、
(2)前記樹脂溶液に含まれる前記樹脂を再沈殿により回収する回収工程と、
(3)回収した前記樹脂を濾過し、洗浄溶剤を用いて洗浄することにより湿粉を得る洗浄工程と、
(4)前記湿粉をフォトレジスト用溶剤に溶解する溶解工程と、を備えており、
前記溶解工程においては、前記湿粉及び前記フォトレジスト用溶剤のうちの少なくとも一方を冷却し、その後、前記湿粉及び前記フォトレジスト用溶剤の混合物を昇温することを特徴とするフォトレジスト用樹脂溶液の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2H096AA25
, 2H096BA11
, 2H096DA10
, 2H096EA05
, 2H096JA02
