特許
J-GLOBAL ID:201003066344244968
磁気トンネル接合素子、磁気ランダムアクセスメモリ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
工藤 実
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-062305
公開番号(公開出願番号):特開2010-219177
出願日: 2009年03月16日
公開日(公表日): 2010年09月30日
要約:
【課題】MTJ素子のMR比を向上させること。【解決手段】MTJ素子(1)は、第1磁性層(10)と、第2磁性層(20)と、第1磁性層(10)と第2磁性層(20)との間に位置するトンネルバリア層(30)と、ハーフメタル材料で形成された第1ハーフメタル層(40)と、を備える。第1ハーフメタル層(40)は、第1磁性層(10)とトンネルバリア層(30)との間に介在し、トンネルバリア層(30)と接触し、第1磁性層(10)と磁気的に結合する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
第1磁性層と、
第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に位置するトンネルバリア層と、
ハーフメタル材料で形成された第1ハーフメタル層と
を備え、
前記第1ハーフメタル層は、前記第1磁性層と前記トンネルバリア層との間に介在し、前記トンネルバリア層と接触し、前記第1磁性層と磁気的に結合する
磁気トンネル接合素子。
IPC (3件):
H01L 43/08
, H01L 21/824
, H01L 27/105
FI (3件):
H01L43/08 Z
, H01L27/10 447
, H01L43/08 M
Fターム (27件):
4M119AA20
, 4M119BB01
, 4M119BB20
, 4M119CC05
, 4M119CC10
, 4M119DD05
, 4M119DD06
, 4M119DD09
, 4M119DD17
, 5F092AA02
, 5F092AB06
, 5F092AC12
, 5F092AD23
, 5F092AD26
, 5F092BB17
, 5F092BB22
, 5F092BB23
, 5F092BB24
, 5F092BB35
, 5F092BB36
, 5F092BB42
, 5F092BB43
, 5F092BB44
, 5F092BC07
, 5F092BC12
, 5F092BC13
, 5F092BE03
引用特許:
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