特許
J-GLOBAL ID：201003072264923481
電子顕微鏡用試料ホルダ。
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
片山 修平
, 横山 照夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-226466
公開番号（公開出願番号）：特開2010-061990
出願日： 2008年09月03日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：
【課題】試料室へのガス導入排出のコンダクタンスを大きくすること。【解決手段】本発明は、電子線を照射する試料を配置する試料室20と、試料室20にガスを導入するための導入管12と試料室20からガスを排出するための排出管14とのいずれか一方が、導入管と排出管との他方の周囲を囲むように設けられたガス導排管と、を具備する電子顕微鏡用試料ホルダである。本発明によれば、導入管および排出管の断面を大きくできる、よって、ガスの導入排出のためのコンダクタンスを大きくできる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
電子線を照射する試料を配置する試料室と、
前記試料室にガスを導入するための導入管と前記試料室からガスを排出するための排出管とのいずれか一方が、前記導入管と前記排出管との他方の周囲を囲むように設けられたガス導排管と、
を具備することを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5C001AA01
, 5C001BB03
, 5C001CC03
出願人引用 (1件)
-
試料冷却ホルダー
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-056625
出願人：株式会社日立製作所
審査官引用 (6件)
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