特許
J-GLOBAL ID:201003090027130866
撮像装置、細胞検出装置、及び撮像装置の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (2件):
荒船 博司
, 荒船 良男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-264490
公開番号(公開出願番号):特開2010-091533
出願日: 2008年10月10日
公開日(公表日): 2010年04月22日
要約:
【課題】各撮像素子の周囲に隔壁を形成した撮像装置、及びこれを用いた細胞検出装置を提供する。【解決手段】基板17上に設けられた複数の光電変換素子20と、光電変換素子20を被覆する絶縁膜32と、互いに隣接する光電変換素子20同士の間の絶縁膜32上に設けられ、互いに離間することによって流路が形成される複数の隔壁51と、を備える撮像装置1である。【選択図】図2
請求項(抜粋):
基板上に設けられた複数の光電変換素子と、
前記光電変換素子を被覆する絶縁膜と、
互いに隣接する前記光電変換素子同士の間の前記絶縁膜上に設けられ、互いに離間することによって流路が形成される複数の隔壁と、を備えることを特徴とする撮像装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N21/64 F
, H01L27/14 K
Fターム (22件):
2G043BA16
, 2G043CA03
, 2G043DA01
, 2G043DA05
, 2G043EA01
, 2G043FA01
, 2G043GA07
, 2G043GA08
, 2G043GB16
, 2G043GB17
, 2G043LA03
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118AB10
, 4M118BA05
, 4M118CA11
, 4M118FB03
, 4M118FB09
, 4M118FB13
, 4M118FB30
, 4M118HA26
, 4M118HA27
引用特許:
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