特許
J-GLOBAL ID：201003091155287294

発光装置の作製方法及び液晶表示装置の作製方法

発明者：
高山 徹

高山 徹 について

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丸山 純矢

丸山 純矢 について

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水上 真由美

水上 真由美 について

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山崎 舜平

山崎 舜平 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-281615
公開番号（公開出願番号）：特開2010-134466
出願日： 2009年12月11日
公開日（公表日）： 2010年06月17日
要約：
【課題】被剥離層に損傷を与えない剥離方法を提供し、小さな面積を有する被剥離層の剥離だけでなく、大きな面積を有する被剥離層を全面に渡って剥離することを可能とする。【解決手段】基板上に金属層を形成する工程と、前記金属層上に酸化物層を形成する工程と、前記酸化物層上に絶縁層を形成する工程と、前記絶縁層上に薄膜トランジスタを形成する工程と、前記薄膜トランジスタ上に発光素子を形成する工程と、人間の手又は前記薄膜トランジスタを引き剥がす装置を用いることにより、前記酸化物層の層内または界面において前記基板から前記薄膜トランジスタを剥離する工程とを有する。【選択図】図13
請求項（抜粋）：
基板上に金属層を形成する工程と、 前記金属層上に酸化物層を形成する工程と、 前記酸化物層上に絶縁層を形成する工程と、 前記絶縁層上に薄膜トランジスタを形成する工程と、 前記薄膜トランジスタ上に発光素子を形成する工程と、 人間の手又は前記薄膜トランジスタを引き剥がす装置を用いることにより、前記酸化物層の層内または界面において前記基板から前記薄膜トランジスタを剥離する工程とを有することを特徴とする発光装置の作製方法。
IPC (12件)：
G09F 9/30 ,  G09F 9/00 ,  G02F 1/133 ,  G02F 1/136 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/02 ,  H05B 33/04 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/02 ,  H01L 27/12
FI (10件)：
G09F9/30 338 ,  G09F9/00 338 ,  G02F1/13357 ,  G02F1/1368 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/02 ,  H05B33/04 ,  H01L29/78 627D ,  H01L27/12 B
Fターム (102件)：
2H092JA24 ,  2H092PA01 ,  2H092PA13 ,  2H191FA84Y ,  2H191FA86Y ,  2H191FA95X ,  2H191FA95Z ,  2H191GA01 ,  2H191GA23 ,  2H191LA11 ,  2H191LA40 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC21 ,  3K107CC42 ,  3K107CC45 ,  3K107DD16 ,  3K107DD17 ,  3K107DD88 ,  3K107DD95 ,  3K107EE03 ,  3K107EE45 ,  3K107EE48 ,  3K107EE49 ,  3K107EE50 ,  3K107GG09 ,  5C094AA31 ,  5C094AA42 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094EB10 ,  5C094FB20 ,  5C094GB10 ,  5F110AA01 ,  5F110AA06 ,  5F110BB02 ,  5F110CC02 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD17 ,  5F110DD24 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE22 ,  5F110EE23 ,  5F110FF04 ,  5F110FF30 ,  5F110FF35 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG22 ,  5F110GG24 ,  5F110GG32 ,  5F110GG34 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL11 ,  5F110HM13 ,  5F110HM15 ,  5F110NN02 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN23 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN40 ,  5F110NN71 ,  5F110NN72 ,  5F110PP01 ,  5F110PP02 ,  5F110PP03 ,  5F110PP10 ,  5F110PP13 ,  5F110PP34 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ16 ,  5F110QQ19 ,  5F110QQ25 ,  5F110QQ28 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435KK05
引用特許：
審査官引用 (9件)
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