特許
J-GLOBAL ID：201003092360770514

非接触膜厚測定装置

発明者：
大竹 秀幸

大竹 秀幸 について


出願人/特許権者：
アイシン精機株式会社

アイシン精機株式会社 について


代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-022464
公開番号（公開出願番号）：特開2010-181164
出願日： 2009年02月03日
公開日（公表日）： 2010年08月19日
要約：
【課題】膜厚測定対象が非平面でもテラヘルツエコーパルスのパルス幅の増大がなく、膜厚測定分解能が低下しない膜厚測定装置を提供すること。【解決手段】テラヘルツ波パルスLtを発生するテラヘルツ波発生手段1と、テラヘルツ波パルスLtを膜厚測定対象に入射させる入射光学系5と、膜厚測定対象から反射されてくるテラヘルツエコーパルスLteを受光する受光光学系6と、テラヘルツエコーパルスLteのパルス幅を短パルス化する短パルス化手段15と、テラヘルツエコーパルスLteの電場振幅時間分解波形を検出する検出手段7と、を有する膜厚測定ユニット17を備えることを特徴とする非接触膜厚測定装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
テラヘルツ波パルスを発生するテラヘルツ波発生手段と、 前記テラヘルツ波発生手段から発生された前記テラヘルツ波パルスを膜厚測定対象に入射させる入射光学系と、 前記入射光学系で前記テラヘルツ波パルスが前記膜厚測定対象に入射され、前記膜厚測定対象から反射されてくるテラヘルツエコーパルスを受光する受光光学系と、 前記テラヘルツエコーパルスのパルス幅を短パルス化する短パルス化手段と、 前記短パルス化手段で短パルス化されたテラヘルツエコーパルスの電場振幅時間分解波形を検出する検出手段と、を有する膜厚測定ユニットを備えることを特徴とする非接触膜厚測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/06 ,  G01N 21/35
FI (2件)：
G01B11/06 Z ,  G01N21/35 Z
Fターム (29件)：
2F065AA30 ,  2F065CC11 ,  2F065CC31 ,  2F065DD03 ,  2F065FF32 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065GG21 ,  2F065GG22 ,  2F065GG23 ,  2F065HH03 ,  2F065LL10 ,  2F065LL12 ,  2F065LL19 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065LL53 ,  2F065LL57 ,  2F065NN08 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2G059AA03 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ30
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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引用文献：
出願人引用 (1件)

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