特許
J-GLOBAL ID：201003097159083144

テラヘルツ分光装置

発明者：
松本 直樹

松本 直樹 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 小森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-204018
公開番号（公開出願番号）：特開2010-038809
出願日： 2008年08月07日
公開日（公表日）： 2010年02月18日
要約：
【課題】集光光学系の問題を解消し、測定のS/N比を改善して、従来の光学系に大きな変更を加えることなく、分光可能な測定周波数範囲を広げられるようにしたテラヘルツ分光装置を提供する。【解決手段】テラヘルツ分光装置1は、第1反射部6と試料保持部7とアパーチャ20とを備える。第1反射部6は、シリコンレンズ5から送波されたテラヘルツ波を集光する。試料保持部7は、集光されるテラヘルツ波のビームラインの中心軸上に試料を保持する。アパーチャ20は、テラヘルツ波の光束の一部を通過させる開口が、開口中心でビームラインの中心軸に重なるように、第1反射部6と試料保持部7との間に配置される。テラヘルツ分光装置1は、試料を透過したテラヘルツ波を受波して、試料の分光解析を行う。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
送波器から送波されて試料を透過したテラヘルツ波を受波器にて受波して、前記試料の分光解析を行うテラヘルツ分光装置であって、 前記送波器から送波された前記テラヘルツ波を集光する集光部と、 前記集光部に集光される前記テラヘルツ波のビームラインの中心軸上に試料を保持する試料保持部と、 前記テラヘルツ波の光束の一部を通過させる開口が、開口中心で前記ビームラインの中心軸に重なるように、前記集光部と前記試料保持部との間に配置される遮蔽板と、を備える、テラヘルツ分光装置。
IPC (1件)：
G01N 21/35
FI (1件)：
G01N21/35 Z
Fターム (13件)：
2G059BB08 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ24 ,  2G059JJ25 ,  2G059NN01
引用特許：
審査官引用 (10件)
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