特許
J-GLOBAL ID：201003099403552197

複合型顕微鏡装置及び試料観察方法

発明者：
鳥澤 允

鳥澤 允 について

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西村 良浩

西村 良浩 について

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横井 学

横井 学 について

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矢地 朋広

矢地 朋広 について

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堀口 照八

堀口 照八 について


出願人/特許権者：
レーザーテック株式会社

レーザーテック株式会社 について


代理人 (2件)： 大山 健次郎 ,  小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-245125
公開番号（公開出願番号）：特開2010-080144
出願日： 2008年09月25日
公開日（公表日）： 2010年04月08日
要約：
【課題】共焦点顕微鏡からの出力される各種画像情報と電子顕微鏡の出力画像情報とが合成された特有の画像情報を出力でき、試料分析に有用な複合型顕微鏡装置を実現する。【解決手段】観察すべき試料を保持する試料ステージが配置される試料室と、試料の電子顕微鏡画像を撮像する電子顕微鏡と、試料の共焦点画像を撮像する共焦点顕微鏡と、電子顕微鏡及び共焦点顕微鏡からの出力信号とを受取り種々の画像信号を出力する信号処理装置を具える。共焦点顕微鏡及び電子顕微鏡のビーム軸は、互いに平行に設定する。試料ステージは、共焦点顕微鏡の対物レンズの光軸及び電子顕微鏡のビーム軸と直交する2次元平面内の位置を規定する2次元座標系を有し、共焦点顕微鏡及び電子顕微鏡は座標系を共有する。この結果、電子顕微鏡画像と共焦点顕微鏡により取得された2次元カラー情報や表面高さ情報とを合成して、カラー電子顕微鏡画像又は3次元電子顕微鏡画像を表示する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空に維持され、観察すべき試料を保持する試料ステージが配置される試料室と、 前記試料ステージ上に保持された試料に向けて電子ビームを投射し、試料の電子顕微鏡画像を撮像する電子顕微鏡と、 光ビームを発生する光源、前記試料ステージ上に配置された試料に向けて集束した光ビームを投射する対物レンズ、前記光ビームの集束点と試料表面との間の相対距離を変化させる手段、及び、試料表面からの反射光を受光する光検出手段を含む共焦点顕微鏡と、 前記電子顕微鏡からの出力信号及び共焦点顕微鏡からの出力信号とを受取り、少なくとも、試料の電子顕微鏡画像、2次元共焦点画像、試料表面の高さ情報及び試料表面の3次元画像を出力する信号処理装置と 前記信号処理装置からの出力信号に基づいて、種々の試料画像を表示するモニタとを具え、 前記電子顕微鏡のビーム軸と共焦点顕微鏡の対物レンズの光軸は、距離dだけ離間して互いに平行に設定され、 前記試料ステージは、共焦点顕微鏡の対物レンズの光軸及び電子顕微鏡のビーム軸と直交する2次元平面内の位置を規定する2次元座標系を有し、 前記共焦点顕微鏡の視野中心の位置及び電子顕微鏡の視野中心の位置は、前記試料ステージの2次元座標系により規定されることを特徴とする複合型顕微鏡装置。
IPC (7件)：
H01J 37/28 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/26 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/20
FI (7件)：
H01J37/28 B ,  G02B21/00 ,  G02B21/06 ,  G02B21/26 ,  G01N23/225 ,  H01J37/22 502H ,  H01J37/20 D
Fターム (36件)：
2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001CA01 ,  2G001CA03 ,  2G001CA10 ,  2G001GA08 ,  2G001HA13 ,  2G001JA12 ,  2G001JA19 ,  2G001KA01 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001QA01 ,  2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AB01 ,  2H052AB14 ,  2H052AB19 ,  2H052AB26 ,  2H052AC15 ,  2H052AC16 ,  2H052AC26 ,  2H052AD20 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21 ,  2H052AF25 ,  5C001AA03 ,  5C001CC04 ,  5C001CC08 ,  5C033UU05 ,  5C033UU06 ,  5C033UU10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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