特許
J-GLOBAL ID：201003099690470058
微量質量センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉浦 秀幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-062062
公開番号（公開出願番号）：特開2010-216895
出願日： 2009年03月13日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：
【課題】 耐熱性や耐久性に優れ、さらに作製が容易で製造コストの低い湿度センサ等の微量質量センサを提供すること。【解決手段】 基板3と、該基板3上に成膜された金属の電極膜4と、該電極膜4上に成膜された感応膜2と、を備え、該感応膜2が、繊維表面を酸化処理して親水化した微細炭素繊維で形成されている。また、感応膜2が、微細炭素繊維の分散液を電極膜4上に塗布して乾燥させた膜である。なお、微細炭素繊維は、カーボンナノチューブであり、基板は、ランガサイト単結晶で形成されることが好ましい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、
該基板上に成膜された金属の電極膜と、
該電極膜上に成膜された感応膜と、を備え、
該感応膜が、繊維表面を酸化処理して親水化した微細炭素繊維で形成されていることを特徴とする微量質量センサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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