特許
J-GLOBAL ID:201003099876662399
音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊藤 信和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-259376
公開番号(公開出願番号):特開2010-093408
出願日: 2008年10月06日
公開日(公表日): 2010年04月22日
要約:
【課題】音叉型圧電振動片をさらに小型化されても、電極のショートもなし、電極を正確且つ簡単に製造することができる音叉型圧電振動片及びその製造方法を提供する。【解決手段】基部と、基部の一端側から所定方向に伸びる少なくとも一対の振動腕21とを有する音叉型圧電振動片に於いて、振動腕21の根元部26は、基部の厚み方向においてテーパー面(DP)を備え、振動腕21の両外側において、基部の一端側から所定方向に伸びる一対の支持腕22を有し、一対の振動腕21の一方と支持腕22の一方との間に形成される支持腕根元部24は、基部の厚み方向においてテーパー面DPを備える。【選択図】図7
請求項(抜粋):
基部と、前記基部の一端側から所定方向に伸びる少なくとも一対の振動腕とを有する音叉型圧電振動片であって、
前記振動腕の根元部は、前記基部の厚み方向において、テーパー面を備えることを特徴とする音叉型圧電振動片。
IPC (6件):
H03H 9/19
, H03H 3/02
, H03H 9/215
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H01L 41/18
FI (8件):
H03H9/19 J
, H03H3/02 D
, H03H9/215
, H01L41/08 C
, H01L41/08 L
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101A
, H03H9/19 L
Fターム (16件):
5J108BB02
, 5J108BB03
, 5J108CC01
, 5J108CC06
, 5J108CC08
, 5J108CC09
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108FF11
, 5J108GG03
, 5J108KK01
, 5J108MM11
, 5J108NA03
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (6件)
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