特許
J-GLOBAL ID:201103002080504132

集積回路の検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小栗 昌平 (外6名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-338259
公開番号(公開出願番号):特開2001-153929
特許番号:特許第3483130号
出願日: 1999年11月29日
公開日(公表日): 2001年06月08日
請求項(抜粋):
【請求項1】 自己診断回路を有し、前記自己診断回路による自己診断結果を出力する出力端と、前記自己診断結果の出力を制御する複数の制御信号が入力される複数の入力端と、前記複数の制御信号の組み合わせにより前記自己診断結果の出力禁止若しくは出力許可を制御するトライステートバッファとを備えた集積回路が複数個マトリクス状に配列され、前記複数の集積回路の各入力端が、前記制御信号を入力するための複数の信号線を介して行毎に共通結線されるとともに、前記複数の集積回路の各出力端が、前記自己診断結果を出力するための出力信号線を介して複数行列毎に共通結線され、共通結線された複数行列毎にそれぞれモニタに接続されており、前記制御信号の組み合わせにより、共通結線された複数行列内の複数の集積回路のうち何れか1つを選択し、選択された集積回路の自己診断結果の出力を許可するとともに、他の集積回路の自己診断結果の出力を禁止し、選択された各集積回路の自己診断結果をそれぞれ前記モニタに供給することを特徴とする集積回路の検査方法。
IPC (4件):
G01R 31/28 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04
FI (4件):
H01L 21/66 F ,  G01R 31/28 U ,  G01R 31/28 Y ,  H01L 27/04 T
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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