特許
J-GLOBAL ID：201103004594735241
集積化フォトセンサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
碓氷 裕彦
, 加藤 大登
, 伊藤 高順
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-232972
公開番号（公開出願番号）：特開2001-060677
特許番号：特許第3678065号
出願日： 1999年08月19日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 1つのチップ(1)上に、光を受光して電気信号に変換する受光素子(4)と、該受光素子からの電気信号を処理する信号処理回路用素子(5、6)とが互いに別部位に形成されており、前記チップ上における前記信号処理回路用素子の形成領域には、受光領域を設定するための遮光膜(34)が形成されており、この遮光膜と前記チップとの間には、電気絶縁性を有する層間絶縁膜(30)が介在設定されている集積化フォトセンサにおいて、前記層間絶縁膜は前記受光素子上にも形成されており、前記受光素子上に形成された層間絶縁膜(30a)の上は、前記層間絶縁膜と略同等の屈折率を有する光透過性ゲル(100)にて覆われていることを特徴とする集積化フォトセンサ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 27/14 Z
, H01L 27/14 D
, H01L 31/10 A
