縮小投影露光装置のチップレベリング機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木敏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-174602
公開番号（公開出願番号）：特開2001-006996
特許番号：特許第3526242号
出願日： 1999年06月21日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】発光部からレベリング光をウエハに照射し、受光部でその反射光を観察することで、ウエハ表面のレベリングを算出した後、レベリングステージを駆動させ、算出したレベリングの補正を行う縮小投影露光装置のチップレベリング機構において、前記受光部は第1の象限部を有し、前記第1の象限部には前記受光部のセンサが円弧状に複数個配置され設けられていることを特徴とする縮小投影露光装置のチップレベリング機構。

IPC (3件)：