特許
J-GLOBAL ID：201103009796244462
コーティング前処理方法、ダイヤモンド被膜のコーティング方法、および脱膜処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
池田 治幸
, 池田 光治郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-028277
公開番号（公開出願番号）：特開2011-162857
出願日： 2010年02月10日
公開日（公表日）： 2011年08月25日
要約：
【課題】ブラスト処理が困難な凹凸の大きい複雑な表面やアスペクト比の大きな穴内面などに対しても適切に表層部を除去して内部の略均一な組織を露出させ、高い付着強度でダイヤモンド被膜をコーティングできるようにする。【解決手段】ステップS1のコーティング前処理では、酸素プラズマにより基材12の表面を酸化させるとともに、超音波洗浄でその酸化物を除去するため、本焼結の際に形成される焼結肌が適切に除去され、その上に形成されるダイヤモンド被膜18の付着強度が向上する。ステップS1-1の酸化処理では、基材12に負のバイアス電圧を印加するため、基材12の表面に沿って高密度の酸素プラズマが略均一に生成され、アスペクト比の大きな穴内面16に対しても適切に酸化処理が施され、穴内面16を含む基材12の表面全域において焼結肌が短時間で適切に除去される。同様の処理でダイヤモンド被膜18の脱膜処理を行うこともできる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
導電性を有する所定の基材の表面に被膜をコーティングする際の前処理方法であって、
前記基材に負のバイアス電圧を印加しつつ電磁波による表面波励起により該基材の表面形状に沿って酸素プラズマを生成し、該酸素プラズマにより該基材の表面を酸化させる酸化工程と、
該酸化工程で前記基材の表面に形成された酸化物を除去する酸化物除去工程と、
を有することを特徴とするコーティング前処理方法。
IPC (3件)：
C23C 16/02
, H01L 21/205
, C23C 16/27
C23C16/02
, H01L21/205
, C23C16/27
4K030AA10
, 4K030AA14
, 4K030AA16
, 4K030AA17
, 4K030BA28
, 4K030BB04
, 4K030BB12
, 4K030CA03
, 4K030CA15
, 4K030CA16
, 4K030DA03
, 4K030DA08
, 4K030FA01
, 5F045AA09
, 5F045AB07
, 5F045AB40
, 5F045AC07
, 5F045AC11
, 5F045AC16
, 5F045AC18
, 5F045AD11
, 5F045AD12
, 5F045AE21
, 5F045AE23
, 5F045AF10
, 5F045BB17
, 5F045DP04
, 5F045DP25
, 5F045DQ10
, 5F045EB13
, 5F045EH20
