マイクロ波・ミリ波装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038922
公開番号（公開出願番号）：特開平11-330163
特許番号：特許第3496752号
出願日： 1999年02月17日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】少なくとも1つの信号線路と受動回路と第1の接地導体部とが表面上に形成された誘電体基板と、複数の能動素子のみがアレイ状に配列された半導体基板と、を備えており、該信号線路と該能動素子の入出力端子との間、及び該第1の接地導体部と該能動素子の接地端子との間が、金属バンプを介して物理的及び電気的にそれぞれ接続されている、マイクロ波・ミリ波装置。

IPC (4件)：