特許
J-GLOBAL ID：201103014260498945
真空チャンバー構成部材
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-331941
公開番号（公開出願番号）：特開2001-145828
特許番号：特許第4018856号
出願日： 1999年11月22日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ラマン分光分析において、波数1333cm-1付近に第1のピークと波数1550cm-1付近に第2のピークとを有し、前記第1のピークに対する前記第2のピークの強度比が0.2以下であり、かつ第1のピークの半値幅が20cm-1以下であるダイヤモンド多結晶薄膜を基体表面に設けてなることを特徴とする真空チャンバー構成部材。
IPC (5件)：
B01J 3/00 ( 200 6.01)
, C30B 29/04 ( 200 6.01)
, C23C 16/27 ( 200 6.01)
, C23C 16/513 ( 200 6.01)
, H01L 21/205 ( 200 6.01)
B01J 3/00 K
, C30B 29/04 C
, C30B 29/04 P
, C23C 16/27
, C23C 16/513
, H01L 21/205
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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