特許
J-GLOBAL ID：201103017987176680

円板状物品の表面から液体を除去するための装置及び方法

発明者：
クラウス,ハラルド

クラウス,ハラルド について

, 
ビツタースハーゲン,アクセル

ビツタースハーゲン,アクセル について


出願人/特許権者：
ラム・リサーチ・アクチエンゲゼルシヤフト

ラム・リサーチ・アクチエンゲゼルシヤフト について


代理人 (1件)： 特許業務法人小田島特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-531005
公開番号（公開出願番号）：特表2011-501393
出願日： 2007年10月16日
公開日（公表日）： 2011年01月06日
要約：
円板状物品の主表面に直角な軸線まわりで円板状物品を回転させ、回転しているときに円板状物品の上に液体を供給し、この液体は円板状物品の縁に向かって基板を横切って動かされる供給ポートから供給され、第1の気体供給ポートを通してある一領域に向かって円板状物品上に第1の気体流を供給し、この領域の中心は20mmより大きくない回転運動の中心までの距離を有し、第1の気体が供給されるこの領域は、第1の気体が供給されるとき液体層で覆われ、そしてこれにより分離した領域において液体層を開口させ、更に、回転されたときの円板状物品上に第2の気体供給ポートを通して第2の気体流を供給し、この第2の気体流は基板の縁に向かって基板を横切って動かされる第2の気体供給ポートより供給され、第2の気体供給ポートから中心までの距離は、第2の気体流及び液体が供給されている間の液体供給ポートから中心までの距離より小さい諸段階よりなる円板状物品の表面から液体を除去するための方法が明らかにされる。更に、この方法を実行するための装置が明らかにされる。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
1個の単一円板状物品を保持しかつ回転させるためのスピンチャック、 円板状物品上に液体を分配するための液体分配手段、 円板状物品上に気体を吹き付けるためのオリフィスを有する少なくも1個のノズルを備えた第1の気体分配手段、 円板状物品上に気体を吹き付けるためのオリフィスを有する少なくも1個のノズルを備えた第2の気体分配手段、 第2の気体分配手段と液体分配手段とが縁部の領域に向かって動くように、液体分配手 段と第2の気体分配手段とを円板状物品を横切って動かすための移動手段、及び 第2の気体分配手段とは別の第1の気体分配手段を通って分配される気体の流量を制御するための手段、 を備え、 第1の気体分配手段のオリフィスの断面積の和が第2の気体分配手段のオリフィスの断面積の和より小さい、 円板状物品の表面から液体を除去するための装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 ,  F26B 5/08 ,  F26B 21/12
FI (4件)：
H01L21/304 651L ,  F26B5/08 ,  F26B21/12 ,  H01L21/304 651D
Fターム (30件)：
3L113AA04 ,  3L113AB08 ,  3L113AC48 ,  3L113AC54 ,  3L113AC63 ,  3L113AC68 ,  3L113AC76 ,  3L113BA34 ,  3L113CA11 ,  3L113CB34 ,  3L113DA04 ,  3L113DA24 ,  5F157AA03 ,  5F157AB02 ,  5F157AB14 ,  5F157AB16 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157AC24 ,  5F157BB22 ,  5F157BB44 ,  5F157BB52 ,  5F157CB03 ,  5F157CB15 ,  5F157CE03 ,  5F157CE07 ,  5F157CE32 ,  5F157CE52 ,  5F157DB32 ,  5F157DB43
引用特許：
審査官引用 (8件)
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