特許
J-GLOBAL ID：201103023791571565

プラズマ発生装置およびリモートプラズマ処理装置

発明者：
河西 繁

河西 繁 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-171739
公開番号（公開出願番号）：特開2011-014542
出願日： 2010年07月30日
公開日（公表日）： 2011年01月20日
要約：
【課題】 プラズマ励起効率の高い小型のプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】 プラズマ発生装置100は、マイクロ波を発生するマイクロ波発生装置10と、マイクロ波発生装置10で発生されたマイクロ波を放射するスロットアンテナ21bと、内管20aと外管20bからなる同軸構造を有し、内管20aの一端にスロットアンテナ21bが取り付けられ、マイクロ波発生装置10で発生させたマイクロ波をスロットアンテナ21bへ導く同軸導波管20と、誘電体材料からなり、スロットアンテナ21bを保持する共振器22と、共振器22が配置される開口面を有し、スロットアンテナ21bから共振器22を通して放射されたマイクロ波が導かれ、かつ所定の処理ガスが供給され、マイクロ波によって処理ガスが励起されるプラズマ励起用のチャンバ所定の処理ガスが供給されるプラズマ励起用のチャンバ23とを具備する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
所定波長のマイクロ波を発生するマイクロ波発生装置と、 前記マイクロ波発生装置で発生されたマイクロ波を放射するアンテナと、 内管と外管からなる同軸構造を有し、前記内管の一端に前記アンテナが取り付けられ、前記マイクロ波発生装置で発生されたマイクロ波を前記アンテナへ導く同軸導波管と、 誘電体材料からなり、前記アンテナを保持し、前記アンテナから放射されたマイクロ波による定在波が形成される共振器と、 前記共振器が配置される開口面を有し、前記アンテナから前記共振器を通して放射されたマイクロ波が導かれ、かつ所定の処理ガスが供給され、前記マイクロ波によって前記処理ガスが励起されるプラズマ励起用のチャンバと、 を具備し、 前記アンテナはスロットアンテナであることを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/205
FI (3件)：
H05H1/46 B ,  H01L21/302 101D ,  H01L21/205
Fターム (11件)：
5F004AA16 ,  5F004BA03 ,  5F004BB14 ,  5F004BB29 ,  5F004CA03 ,  5F004CA08 ,  5F045AA09 ,  5F045BB08 ,  5F045EH02 ,  5F045EH03 ,  5F045EH19
引用特許：
審査官引用 (18件)
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