耐紫外線性ペリクル

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：武井英夫 , 鳴井義夫 , 松井佳章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-285330
公開番号（公開出願番号）：特開2001-109131
特許番号：特許第4330729号
出願日： 1999年10月06日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ペリクル膜が接着剤層によってペリクルフレームの一端面に接着固定されたペリクルにおいて、該接着剤層がシリコーン系接着剤および有機フッ素系接着剤で形成され、両接着剤の分布が、両接着剤の混合状態、該混合状態に加えてシリコーン系接着剤単独からなる接着剤相および有機フッ素系接着剤単独からなる接着剤相のいずれか一つ、もしくは両方との共存状態、シリコーン系接着剤単独からなる接着剤相および有機フッ素系接着剤単独からなる接着剤相を主体としてなる相分離状態、のいずれかからなることを特徴とする耐紫外線性ペリクル。

IPC (3件)：