電子線露光装置及び電子線露光方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮越典明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-151140
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340494
特許番号：特許第3351389号
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光投影露光装置で露光したパターンのチップ格子と、設計値によるパターンのチップ格子との位置ずれ量を測定し、該位置ずれ量から近似補正式を求め、該近似補正式によって露光する可変成形ショット位置を算出可能に構成された電子線露光装置であって、前記可変成形ショット位置と、設計値による可変成形ショット寸法とから、可変成形ショット寸法補正量を算出して、電子線露光するように構成されたことを特徴とする電子線露光装置。

IPC (3件)：