特許
J-GLOBAL ID：201103030853396370
反射型液晶表示装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-186305
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013494
特許番号：特許第3452838号
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】液晶層を介して対向配置される一対の基板のうち、一方が層間膜を介して反射電極が形成される基板であり、他方が透光性を有する基板である反射型液晶表示装置の製造方法において、基板上に信号配線を形成する第1の工程と、上記基板上において、後の工程で反射電極用膜を除去する特定領域に、まず下地膜を形成し、次に上記信号配線および下地膜を覆うように層間絶縁膜を形成することで、上記基板表面から該層間絶縁膜表面までの厚みの平均値が上記特定領域において他の領域よりも厚くなるようにする第2の工程と、上記下地膜と上記層間絶縁膜とからなる層間膜上に、反射電極用膜を形成する第3の工程と、上記反射電極用膜上に、レジスト層を表面が平坦になるように形成することで、上記レジスト層の厚さの平均値が上記特定領域において他の領域よりも薄くなるようにし、上記特定領域のレジスト層を露光および現像により除去し、その後上記特定領域の反射電極用膜をエッチングにより除去することで、上記反射電極用膜をパターニングして反射電極を形成する第4の工程とを含むことを特徴とする反射型液晶表示装置の製造方法。
IPC (2件)：
G02F 1/1335 520
, G02F 1/1343
G02F 1/1335 520
, G02F 1/1343
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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