特許
J-GLOBAL ID：201103031403492392
シート貼付装置およびシート貼付方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
松浦 孝
, 小倉 洋樹
, 虎山 滋郎
, 坪内 伸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-049015
公開番号（公開出願番号）：特開2011-187537
出願日： 2010年03月05日
公開日（公表日）： 2011年09月22日
要約：
【課題】被着体や接着シートを一様に加熱して当該被着体に接着シートを貼付する。【解決手段】半導体ウエハWを支持する支持手段1と、接着シートSを半導体ウエハWの上に配置するシート配置手段2と、接着シートSを半導体ウエハWに押圧して貼付する押圧手段4と、赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、半導体ウエハW及び接着シートSの少なくとも一方を加熱する加熱線照射手段5とを備えてシート貼付装置10が構成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被着体を支持する支持手段と、
接着シートを前記被着体の上に配置するシート配置手段と、
前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する加熱線照射手段と
を備えることを特徴とするシート貼付装置。
IPC (2件)：
H01L 21/683
, H01L 21/027
H01L21/68 N
, H01L21/30 572Z
5F031CA02
, 5F031DA15
, 5F031HA13
, 5F031HA78
, 5F031MA37
, 5F031NA05
, 5F046MA19
, 5F146MA19
