ペリクル

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：武井英夫 , 鳴井義夫 , 松井佳章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-330039
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147518
特許番号：特許第4363725号
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ペリクルを装着したマスク構成体の内面に露出する有機系のマスク接着材を有するペリクルであって、該ペリクルが、マスク接着材に50°Cで4時間の加熱を行ったときの熱重量測定法による加熱減量が0.1%以上のフェノール誘導体を添加した上で、予め80〜200°Cの加熱処理を施してフェノール誘導体の量を限定して、マスク接着材0.5g当たり該フェノール誘導体を15μg〜0.1μg含有させたマスク接着材から構成されていることを特徴とするペリクル。

IPC (2件)：