特許
J-GLOBAL ID：201103037021011570
赤外線センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲岡 耕作
, 川崎 実夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-044180
公開番号（公開出願番号）：特開2011-179953
出願日： 2010年03月01日
公開日（公表日）： 2011年09月15日
要約：
【課題】焦電素子を用いた構造で薄型化が図られた、赤外線センサを提供する。【解決手段】シリコン基板2上には、チタン酸ジルコン酸鉛からなる薄膜状の焦電素子14が設けられている。薄膜状の焦電素子14は、ゾルゲル法により形成することができる。ゾルゲル法では、粉体原料の焼結により焦電素子14を形成する手法と比較して、焦電素子14の厚さを小さくすることができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられ、チタン酸ジルコン酸鉛からなる薄膜状の焦電素子と、
前記焦電素子を被覆し、その最表面が赤外線の受光面をなす被覆膜と、
前記焦電素子と対向する部分に、前記半導体基板の表面から掘り下がった形状に形成され、前記焦電素子を前記半導体基板から熱的に分離するためのキャビティとを含む、赤外線センサ。
IPC (5件)：
G01J 1/02
, G01J 5/48
, G01J 5/34
, G01J 5/12
, H01L 37/02
G01J1/02 Y
, G01J1/02 C
, G01J5/48 A
, G01J5/34 A
, G01J5/12
, H01L37/02
2G065AA04
, 2G065AB02
, 2G065BA11
, 2G065BA13
, 2G065BA34
, 2G065BE08
, 2G066BA01
, 2G066BA08
, 2G066BA55
, 2G066CA02
