特許
J-GLOBAL ID：201103040166212109
プラズマディスプレイパネル用基板の検査、修正方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 育郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287807
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110316
特許番号：特許第4010716号
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ガラス基板上に電極を含む複数の構成層を形成してなるプラズマディスプレイパネル用基板の検査及び修正方法であって、ガラス基板上に電極を形成した直後に外観検査を実施して電極パターンの欠陥候補及びその座標位置を抽出し、続いてその外観検査を行う外観検査装置とは別途下流に用意された画像取込み装置において、外観検査装置により抽出された欠陥候補位置の画像を記録し、この記録された画像に対して画像処理により、外観検査装置で抽出した欠陥候補から真の欠陥の抽出及び擬似欠陥の排除を行った後、真の欠陥または擬似欠陥としての判定がなされなかった欠陥候補に対して人による欠陥抽出作業を実施してから、真の欠陥としての判定がなされた電極の修正を実施し、それ以降の各構成層の形成工程を経た後に、出荷前の最終検査として非接触による電極の導通検査を行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用基板の検査及び修正方法。
IPC (3件)：
H01J 9/42 ( 200 6.01)
, G09F 9/00 ( 200 6.01)
, H01J 11/02 ( 200 6.01)
H01J 9/42 A
, G09F 9/00 352
, H01J 11/02 B
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (9件)
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