石英ガラスルツボの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：鷲頭光宏 , 緒方和文 , 黒瀬泰之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-160737
公開番号（公開出願番号）：特開2001-342030
特許番号：特許第4424825号
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ルツボ内周面を赤熱温度以上および軟化温度未満に加熱し、加熱領域に輝点が生じるか否かを判別し、前記加熱領域に輝点が生じる石英ガラスルツボについて、ルツボ外表面を軟化温度より低く維持する一方、酸水素炎またはプラズマ炎によってルツボ内表面層を軟化温度以上に局部加熱し、輝点発生部分を再溶融させて輝点を除去することを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。

IPC (1件)：