照明光学装置及び投影露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西山恵三 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-002731
公開番号（公開出願番号）：特開平11-312639
特許番号：特許第3101613号
出願日： 1999年01月08日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光源からの光束を用いて2次光源を形成するフライアイレンズと、前記2次光源からの光束を用いて被照射面を照明する光学手段とを有する照明光学装置であって、前記被照射面上の各点から見た前記2次光源の開口数が実質的に等しくなる程度に前記光学手段の歪曲収差を小さくすると共に、前記フライアイレンズの入射側で、前記フライアイレンズを構成する複数の微小レンズ要素のうちの所望の微小レンズ要素に入射する光量を制限する光学フィルターと、前記光学フィルターを駆動する駆動手段とを備えることを特徴とする照明光学装置。

IPC (4件)：