特許
J-GLOBAL ID：201103050015846918
多層膜反射鏡及び多層膜反射鏡の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 西 和哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-232575
公開番号（公開出願番号）：特開2003-043193
特許番号：特許第4461652号
出願日： 2001年07月31日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 モリブデン(Mo)層と酸化モリブデン層とシリコン(Si)層とをこの順に積層して成るMo/Si多層膜を基板上に形成した多層膜反射鏡。
IPC (6件)：
G21K 1/06 ( 200 6.01)
, C23C 14/06 ( 200 6.01)
, G02B 5/08 ( 200 6.01)
, G02B 5/26 ( 200 6.01)
, G02B 5/28 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G21K 1/06 C
, G21K 1/06 D
, C23C 14/06 N
, G02B 5/08 A
, G02B 5/26
, G02B 5/28
, H01L 21/30 531 A
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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