特許
J-GLOBAL ID：201103050776519252

圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法

発明者：
小林 高志

小林 高志 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツル株式会社

セイコーインスツル株式会社 について


代理人 (3件)： 久原 健太郎 ,  内野 則彰 ,  木村 信行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-170381
公開番号（公開出願番号）：特開2011-029714
出願日： 2009年07月21日
公開日（公表日）： 2011年02月10日
要約：
【課題】露光位置精度を厳しく追い込むことをせずに、断線の可能性が低く、安定した作動の信頼性が確保された圧電振動片を提供すること。【解決手段】振動腕部3、4と、振動腕部の基端部を固定する基部5と、振動腕部の主面上に形成された溝部6と、振動腕部を振動させる励振電極10、11と、を備え、励振電極が、主面電極部20と側面電極部21と接続電極部22と、を有し、主面電極部が、又部15寄りの振動腕部の主面上に空き領域Sを確保するように、振動腕部の基端部側の横幅W1が他の部分の横幅W2よりも幅狭に形成され、接続電極部が、振動腕部の主面上において、空き領域を利用して溝部の開口端側に接近するように幅広に形成されている圧電振動片1を提供する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
平行配置された一対の振動腕部と、該一対の振動腕部の基端部を一体的に固定する基部と、一対の振動腕部の主面上に、該振動腕部の基端部から先端部に向かって一定幅で縦長に形成された溝部と、を有する圧電板と、 前記圧電板の外表面上に形成され、電圧が印加されたときに前記一対の振動腕部を振動させる励振電極と、を備え、 前記励振電極は、 前記溝部内と該溝部を囲む前記振動腕部の主面上とに形成された主面電極部と、 前記振動腕部の側面上に形成された側面電極部と、 前記側面電極部に接続されるように前記振動腕部の主面上に形成されると共に、前記基部の主面上を経由してもう一方の振動腕部側に引き回された後、該振動腕部側の前記主面電極部に接続された接続電極部と、を有し、 前記主面電極部は、又部寄りの前記振動腕部の主面上に空き領域を確保するように、前記振動腕部の基端部側の横幅が他の部分の横幅よりも幅狭に形成され、 前記接続電極部は、前記振動腕部の主面上において、前記空き領域を利用して前記溝部の開口端側に接近するように幅広に形成されていることを特徴とする圧電振動片。
IPC (8件)：
H03H 9/19 ,  H03H 9/215 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/02 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18
FI (11件)：
H03H9/19 J ,  H03H9/215 ,  H03H3/02 D ,  H03H3/02 C ,  H03H9/02 K ,  H03B5/32 H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 K
Fターム (41件)：
5J079AA02 ,  5J079AA04 ,  5J079BA39 ,  5J079BA43 ,  5J079FA01 ,  5J079FB34 ,  5J079FB39 ,  5J079FB40 ,  5J079HA03 ,  5J079HA06 ,  5J079HA22 ,  5J079HA25 ,  5J079HA27 ,  5J079HA29 ,  5J079KA01 ,  5J079KA02 ,  5J079KA05 ,  5J108BB02 ,  5J108BB08 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108CC12 ,  5J108EE02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE11 ,  5J108EE13 ,  5J108EE18 ,  5J108FF05 ,  5J108FF10 ,  5J108FF11 ,  5J108GG03 ,  5J108GG04 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108HH03 ,  5J108HH05 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108MM11 ,  5J108NA03
引用特許：
審査官引用 (10件)
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