特許
J-GLOBAL ID:200903072434860098
音叉型圧電振動子、圧電振動デバイス、及び圧電発振器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊藤 信和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-275193
公開番号(公開出願番号):特開2008-098748
出願日: 2006年10月06日
公開日(公表日): 2008年04月24日
要約:
【課題】音叉又部の底面近傍の電極間における短絡・接触等の不具合を減少させた信頼性の高い音叉型圧電振動子、同振動子を用いた圧電振動デバイス、及び圧電振動デバイスを用いた圧電発振器を提供する。【解決手段】外部接続用の基部電極が設けられた振動子基部(13)と、振動子基部から音叉状に突設された振動子腕部(11,12)と、この振動子腕部の表面および裏面の少なくとも一方に形成された溝部と、当該溝部に設けられた溝電極(11ae、12ae)と、振動子腕部の溝部が形成されていない側面に設けられた側面電極(11be、12be)と、基部電極と側面電極若しくは溝電極とを接続する第一の接続用電極(13e5)と、溝電極と側面電極とを接続する第二の接続用電極(13e6)と、を含む音叉型圧電振動子において、側面電極を振動子基部の音叉又部の底面から所定の距離をおいて設ける。【選択図】図1
請求項(抜粋):
外部接続用の基部電極が設けられた振動子基部と、
前記振動子基部から音叉状に突設された振動子腕部と、
前記振動子腕部の表面および裏面の少なくとも一方に形成された溝部と、
前記溝部に設けられた溝電極と、
前記振動子腕部の前記溝部が形成されていない側面に設けられた側面電極と、
前記基部電極と前記側面電極若しくは前記溝電極とを接続する第一の接続用電極と、
前記溝電極と前記側面電極とを接続する第二の接続用電極と、を含む音叉型圧電振動子であって、
前記側面電極は、前記振動子基部における音叉又部の底面から所定の距離をおいて設けられていることを特徴とする音叉型圧電振動子。
IPC (6件):
H03H 9/19
, H03H 9/21
, H03H 9/215
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/187
FI (7件):
H03H9/19 L
, H03H9/21 B
, H03H9/215
, H01L41/08 U
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101A
, H01L41/18 101B
Fターム (12件):
5J108BB02
, 5J108BB04
, 5J108CC06
, 5J108CC09
, 5J108EE02
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108EE11
, 5J108GG03
, 5J108GG06
, 5J108GG15
, 5J108GG16
引用特許:
出願人引用 (3件)
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振動片、振動子、発振器及び携帯電話装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-265592
出願人:セイコーエプソン株式会社
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振動子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-032789
出願人:シチズン時計株式会社
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圧電振動式角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-344347
出願人:キンセキ株式会社
審査官引用 (11件)
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圧電素子の製造方法およびレジスト塗布装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-346919
出願人:セイコーエプソン株式会社
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圧電素子とその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-340834
出願人:ソニー株式会社
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水晶振動子の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-345531
出願人:セイコーエプソン株式会社
-
振動片、振動子、発振器及び電子機器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-010617
出願人:セイコーエプソン株式会社
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特開昭53-019779
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水晶発振器とその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-382907
出願人:有限会社ピエデック技術研究所
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特開昭57-028416
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特開昭57-021113
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特開昭54-053983
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振動子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-032789
出願人:シチズン時計株式会社
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水晶振動子の支持構造
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-016590
出願人:ミヨタ株式会社
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