特許
J-GLOBAL ID：201103058645385820
計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-254452
公開番号（公開出願番号）：特開2011-099756
出願日： 2009年11月05日
公開日（公表日）： 2011年05月19日
要約：
【課題】簡易な構成でありながら、参照面と被検面との間の絶対距離を高精度に計測することができる計測装置を提供する。【解決手段】第1の光源から射出される光の波長を、既知の真空波長である第1の基準波長又は第1の基準波長とは異なる既知の真空波長である第2の基準波長に設定するための波長基準素子と、参照面と被検面との間の空間の群屈折率を検出する屈折率検出部と、参照面で反射された光と被検面で反射された光との干渉信号を検出して、干渉信号から参照面と被検面との間の光路長に相当する位相を検出する位相検出部と、波長基準素子を用いて第1の光源から射出される光の波長を第1の基準波長から第2の基準波長に連続的に変更させながら第1の基準波長及び第2の基準波長のそれぞれについて、参照面と被検面との間の光路長に相当する位相を検出するように位相検出部を制御して、絶対距離を求める処理部とを有する計測装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
参照面と被検面との間の絶対距離を計測する計測装置であって、
第1の光源から射出される光の波長を、既知の真空波長である第1の基準波長又は前記第1の基準波長とは異なる既知の真空波長である第2の基準波長に設定するための波長基準素子と、
前記第1の光源からの光を、第1の偏光方向を有する光と前記第1の偏光方向に直交する第2の偏光方向を有する光とに分離して、前記第1の偏光方向を有する光を前記参照面に入射させ、前記第2の偏光方向を有する光を前記被検面に入射させる偏光ビームスプリッタと、
前記参照面と前記被検面との間の空間の群屈折率を検出する屈折率検出部と、
前記参照面で反射された前記第1の偏光方向を有する光と前記被検面で反射された前記第2の偏光方向を有する光との干渉信号を検出して、前記干渉信号から前記参照面と前記被検面との間の光路長に相当する位相を検出する位相検出部と、
前記波長基準素子を用いて前記第1の光源から射出される光の波長を前記第1の基準波長から前記第2の基準波長に連続的に変更させながら前記第1の基準波長及び前記第2の基準波長のそれぞれについて、前記参照面と前記被検面との間の光路長に相当する位相を検出するように前記位相検出部を制御して、前記絶対距離を求める処理を行う処理部と、
を有し、
前記第1の基準波長をλ1、前記第2の基準波長をλ2、前記第1の基準波長において前記位相検出部で検出される位相をφ1、前記第2の基準波長において前記位相検出部で検出される位相をφ2、前記第1の光源から射出される光の波長を前記第1の基準波長から前記第2の基準波長に連続的に変更した際に発生する位相飛び数をM、λ1・λ2/|λ1-λ2|で表される前記第1の基準波長と前記第2の基準波長との合成波長をΛ12、前記屈折率検出部で検出される群屈折率をng、前記第2の偏光方向を有する光が前記被検面で反射される回数をkとすると、
前記処理部は、前記絶対距離D1を、
IPC (3件)：
G01B 9/02
, G01B 11/02
, G01S 17/36
G01B9/02
, G01B11/02 G
, G01S17/36
2F064AA01
, 2F064CC08
, 2F064CC10
, 2F064DD04
, 2F064DD06
, 2F064EE01
, 2F064FF01
, 2F064FF02
, 2F064FF06
, 2F064GG12
, 2F064GG16
, 2F064GG22
, 2F064GG23
, 2F064GG38
, 2F064GG42
, 2F064GG55
, 2F064GG70
, 2F064HH01
, 2F064HH05
, 2F064HH06
, 2F064JJ05
, 2F065AA22
, 2F065FF49
, 2F065FF51
, 2F065GG21
, 2F065LL37
, 2F065QQ00
, 2F065RR06
, 5J084AA05
, 5J084AD08
, 5J084BA04
, 5J084BA22
, 5J084BA38
, 5J084BB14
, 5J084BB15
, 5J084BB32
, 5J084DA01
, 5J084EA11
出願人引用 (10件)
全件表示
審査官引用 (10件)
全件表示
前のページに戻る
