特許
J-GLOBAL ID：201103059546497044
N-スルホニルオキシイミド化合物およびそれを用いた感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩見谷 周志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-336666
公開番号（公開出願番号）：特開2001-199955
特許番号：特許第4029558号
出願日： 2000年11月02日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 下記一般式(1):
〔式(1)中、Xは単結合を示し、YとZは独立に水素原子を示し、あるいはYとZとは共同してそれらが結合している炭素原子を含めて、上記一般式(1)の左半分の部分を表した下記の式中の脂肪族環状構造または複素環状構造を形成してもよい:
Rは下記一般式(2):
(式(2)中、X1 は下記式(5-1)〜(5-4)で表される基から成る群から選ばれる基を示し:
〔式(5-1)〜(5-4)において、R3〜R6は各々炭素原子数1〜6のアルキル基を示し、A1およびA2は各々炭素原子数1〜6のアルキレン基を示す。〕
X1が複数存在する場合はそれらのX1 は相互に同一でも異なってもよく、R1 は炭素原子数1〜10のアルキル基または炭素原子数1〜10のアルコキシル基を示し、R1が複数存在する場合はそれらのR1 は相互に同一でも異なってもよく、mは1〜11の整数、nは0〜10の整数で、m+n≦11を満たす。)
で示される基である。〕
で表されるN-スルホニルオキシイミド化合物。
IPC (5件)：
C07D 209/76 ( 200 6.01)
, C07D 491/18 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, C07D 207/46 ( 200 6.01)
C07D 209/76
, C07D 491/18
, G03F 7/004 503 A
, H01L 21/30 502 R
, C07D 207/46
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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