共焦点光スキャナ

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-201063
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027728
特許番号：特許第3736213号
出願日： 1999年07月15日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】共焦点画像を得る共焦点光スキャナにおいて、試料上にライン状の光を照射させる遮蔽手段若しくは集光手段と、前記試料からの戻り光のうち前記遮蔽手段若しくは前記集光手段を通過若しくは透過した前記戻り光を走査する走査手段と、この走査手段の動作に同期して前記試料への集光位置を光軸方向に変化させる駆動手段とを備えたことを特徴とする共焦点光スキャナ。

IPC (1件)：