特許
J-GLOBAL ID：201103066036161960

感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法

発明者：
岩戸 薫

岩戸 薫 について

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飯塚 裕介

飯塚 裕介 について

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三枝 浩

三枝 浩 について

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平野 修史

平野 修史 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 高松 猛 ,  矢澤 清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-180211
公開番号（公開出願番号）：特開2011-033843
出願日： 2009年07月31日
公開日（公表日）： 2011年02月17日
要約：
【課題】現像欠陥、ラインウィズスラフネス、スカムの発生が抑制され、パターン形状に優れたパターンを形成することが可能で、更に液浸露光時の液浸液に対する追随性が良好であり、バブル欠陥抑制の諸性能も良好な感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】極性変換基を少なくとも2つ以上有し、かつ、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する繰り返し単位(a)を含有し、かつ、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂(A)、を含有する、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
一般式(KA-1)又は(KB-1)で表される構造における-COO-で表される極性変換基を少なくとも2つ以上有し、かつ、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する繰り返し単位(a)を含有し、かつ、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂(A)、を含有する、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/039 ,  G03F 7/075 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08F 220/22
FI (5件)：
G03F7/039 601 ,  G03F7/075 511 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08F220/22
Fターム (86件)：
2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF19P ,  2H125AF20P ,  2H125AF21P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AF39P ,  2H125AF45P ,  2H125AF70P ,  2H125AH14 ,  2H125AH15 ,  2H125AH16 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH24 ,  2H125AH25 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ66X ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ69X ,  2H125AL02 ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AL22 ,  2H125AL23 ,  2H125AM09P ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM27P ,  2H125AM86P ,  2H125AM99P ,  2H125AN08P ,  2H125AN37P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN45P ,  2H125AN51P ,  2H125AN54P ,  2H125AN57P ,  2H125AN62P ,  2H125AN63P ,  2H125AN65P ,  2H125AN86P ,  2H125AN88P ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125BA27P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL08T ,  4J100BA02P ,  4J100BA03S ,  4J100BA11P ,  4J100BA15P ,  4J100BA77P ,  4J100BA80P ,  4J100BB07P ,  4J100BB12P ,  4J100BB18P ,  4J100BC03Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC09P ,  4J100BC09R ,  4J100BC09S ,  4J100BC53P ,  4J100BC58P ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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