特許
J-GLOBAL ID：201103068721611750

物理量センサ

発明者：
岩澤 寛

岩澤 寛 について

, 
松本 昌大

松本 昌大 について


出願人/特許権者：
日立オートモティブシステムズ株式会社

日立オートモティブシステムズ株式会社 について


代理人 (2件)： 井上 学 ,  戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-041250
公開番号（公開出願番号）：特開2011-179822
出願日： 2010年02月26日
公開日（公表日）： 2011年09月15日
要約：
【課題】静電容量の差分を用いて物理量を検出する物理量センサにおいて、シールド配線による外来ノイズの影響の低減と、容量変換回路の内部ノイズと入力端子における対地入力容量に起因する検出誤差の低減を両立することにより、高精度な物理量センサを提供する。【解決手段】可動体に接続された電極に高周波の搬送波信号を入力し、対となる2つの検出電極から2本の検出配線を取り出し、各々を2つの容量変換回路にて電圧信号に変換し、各々の電圧信号を差動増幅器に入力することで2つの容量差に比例した出力を得る。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
外界からの物理量により変位可能に支持された可動体を有し、相対する二方向に検出電極が形成され、可動体と検出電極の間に形成される容量の可動体の変位による差分を容量検出回路によって電気信号に変換し、物理量を検出する静電容量式の物理量センサにおいて、 前記可動体に接続された電極に高周波の搬送波信号または直流バイアス電圧を入力し、対となる2つの検出電極から2本の検出配線を取り出し、各々を2つの容量変換回路にて電圧信号に変換し、各々の電圧信号を差動増幅器に入力することで2つの容量差に比例した出力を得ることを特徴とする物理量センサ。
IPC (1件)：
G01P 15/125
FI (1件)：
G01P15/125 V
引用特許：
審査官引用 (10件)
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