特許
J-GLOBAL ID：201103072229209862

薄膜触覚センサ

発明者：
丹羽 英二

丹羽 英二 について

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佐々木 祥弘

佐々木 祥弘 について

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金子 秀夫

金子 秀夫 について

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増本 剛

増本 剛 について


出願人/特許権者：
財団法人電気磁気材料研究所

財団法人電気磁気材料研究所 について

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独立行政法人科学技術振興機構

独立行政法人科学技術振興機構 について


代理人 (1件)： 村井 卓雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-233902
公開番号（公開出願番号）：特開2002-048607
特許番号：特許第3756737号
出願日： 2000年08月02日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】導電性基板に形成された絶縁膜又は絶縁性基板上に、原子量比にて鉄10〜70%及び残部パラジウムと少量の不純物からなる温度検知材料薄膜と、窒素0〜40%及び残部クロムと少量の不純物からなり、その結晶構造がbcc構造のみからなるかもしくはbcc構造とA15型構造の両者からなる歪検知材料薄膜とを配列成膜するか、あるいは中間に絶縁膜を介して積層成膜してなる複合素子を含んでなり、温度及び接触圧力を同時に検出することを特徴とする義手・義足用薄膜触覚センサ。
IPC (5件)：
G01D 21/02 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01) ,  G01L 1/16 ( 200 6.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01) ,  G01D 3/028 ( 200 6.01)
FI (6件)：
G01D 21/02 ,  B81B 3/00 ,  G01L 1/16 A ,  G01L 1/16 B ,  H01L 29/84 Z ,  G01D 3/04 D
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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