薄板支持容器用蓋体

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工藤宣幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-242326
公開番号（公開出願番号）：特開2011-054984
出願日： 2010年10月28日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：

【課題】各当接片で各薄板を均一な力で確実に支持する。【解決手段】内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体である。上記薄板を支持する薄板押えを、蓋体裏面側に固定される2つの基端支持部と、上記薄板の周縁に沿って複数個配設されて当該薄板に直接に当接される当接片と、上記各基端支持部にそれぞれ支持されて上記複数の当接片のうち両端の当接片の外側端を支持する2つの弾性支持板部と、上記各当接片の間を互いに連接して各当接片を支持する連接支持板部と、当該連接支持板部の上記蓋体裏面に沿うズレを防止して上記蓋体裏面に垂直な方向の変動を許容する支持用部材とを備えて構成した。【選択図】図18

請求項（抜粋）：

内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、上記容器本体内に収納された薄板を支持するための薄板押えを備え、当該薄板押えが、蓋体裏面側に固定される2つの基端支持部と、上記薄板の周縁に沿って複数個配設されて当該薄板に直接に当接される当接片と、上記各基端支持部にそれぞれ支持されて上記複数の当接片のうち両端の当接片の外側端を支持する2つの弾性支持板部と、上記各当接片の間を互いに連接して各当接片を支持する連接支持板部と、当該連接支持板部の上記蓋体裏面に沿うズレを防止して上記蓋体裏面に垂直な方向の変動を許容する支持用部材とを備えて構成されたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。

IPC (2件)：

H01L 21/673 , B65D 85/86

FI (2件)：

H01L21/68 T , B65D85/38 R

Fターム (26件)：

3E096AA08 , 3E096BA16 , 3E096BB04 , 3E096CA01 , 3E096CB03 , 3E096CC02 , 3E096DA11 , 3E096DA17 , 3E096DA23 , 3E096DB08 , 3E096DC01 , 3E096FA09 , 3E096FA27 , 3E096GA03 , 3E096GA14 , 5F031CA01 , 5F031CA02 , 5F031DA09 , 5F031EA06 , 5F031EA10 , 5F031EA11 , 5F031EA19 , 5F031EA20 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA11

引用特許：

審査官引用 (8件)

クッション付きウェハー容器
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-559036 出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド
ウェハー輸送用のウェハークッション
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-261093 出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド
特許第2555501号

全件表示

前のページに戻る