特許
J-GLOBAL ID:201103079384224538
反射型波長板
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
野口 繁雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-122889
公開番号(公開出願番号):特開2011-248213
出願日: 2010年05月28日
公開日(公表日): 2011年12月08日
要約:
【課題】反射膜での吸収が少なく、反射膜とサブ波長凹凸構造体との密着強度が強くて耐久性にも優れた反射型波長板を提供する。【解決手段】基板上に反射膜を介してサブ波長凹凸構造体が配置されてなり、入射光の波長λに対して略λ/4の位相差を付加して出射する反射型波長板である。反射膜は誘電体多層膜からなり、入射光の波長λに対して略λ/2の位相差を発生させる膜構成をもち、サブ波長凹凸構造体は入射光の波長λに対して略λ/8の位相差を発生させるようにフィリングファクタと凹凸の溝の深さが設定されている。【選択図】図4
請求項(抜粋):
基板上に反射膜を介してサブ波長凹凸構造体が配置されてなり、入射光の波長λに対して略λ/4の位相差を付加して出射する反射型波長板において、
前記反射膜は誘電体多層膜からなり、前記入射光の波長λに対して略λ/2の位相差を発生させる膜構成をもち、
前記サブ波長凹凸構造体は、前記入射光の波長λに対して略λ/8の位相差を発生させるようにフィリングファクタと凹凸の溝の深さが設定されていることを特徴とする反射型波長板。
IPC (6件):
G02B 5/30
, G11B 7/135
, G02B 5/26
, G02B 5/28
, G02B 5/08
, G03B 21/14
FI (6件):
G02B5/30
, G11B7/135 A
, G02B5/26
, G02B5/28
, G02B5/08 A
, G03B21/14 Z
Fターム (26件):
2H042DA08
, 2H042DA12
, 2H042DC02
, 2H042DE04
, 2H048FA09
, 2H048FA15
, 2H048GA24
, 2H048GA61
, 2H149AA17
, 2H149AA26
, 2H149AB11
, 2H149DA04
, 2H149DA13
, 2H149FA41Y
, 2H149FC07
, 2H149FD05
, 2K103AB10
, 2K103BC11
, 2K103BC12
, 2K103CA26
, 5D789AA32
, 5D789AA43
, 5D789EC13
, 5D789JA31
, 5D789JA57
, 5D789NA05
引用特許:
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