スラリー供給方法およびその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：安倍逸郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-024839
公開番号（公開出願番号）：特開2002-233954
特許番号：特許第3809337号
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2002年08月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】遊離砥粒を含むスラリーを貯液するスラリータンクと、このスラリータンクから排出されたスラリーの温度を調節する温度調節手段との間でスラリーを循環しながら、スラリーの温度を調節する工程と、温度調節後のスラリーを、スラリーを使用する設備に供給する工程とを備えたスラリー供給方法において、上記スラリーを使用する設備に供給される温度調節後のスラリーの量を検出し、この検出された量と略同じ量のスラリーを、上記スラリータンクに随時補給するスラリー供給方法。

IPC (3件)：